Aplicasion specifiche de deterxenti al plasma

Łe machine pa ła pułisia/incision al plasma łe produxe plasma metendo do eletrodi in un contenidor serà pa crear un canpo ełètrico. Na pompa a vodo ła vien doparà pa mantegner un serto liveło de vodo. Co el gas el deventa senpre pì rareficà, ła distansa tra łe mołecołe e el libero movimento dełe mołecołe o dei ioni ła crése anca. Soto l’influensa del canpo ełetrico, sti ioni i se scontra e i forma plasma. Sti ioni i xe altamente reattivi, co bastansa energia da romper quasi tuti i ligami chimici, induxendo reasion chimiche su ogni superfisie esposta. Plasmi de gas diversi i ga proprietà chimiche difarenti. Par exénpio, el plasma de osigeno el xe altamente ossidante, bon de osidar el fotoresist pa far gas, otegnéndo cusì un efeto de pułisia. El plasma de gas coroxivo el ga na anisotropia ecełente, che ła sodisfa i recuisiti de l’incision. El tratamento plasmatico el produxe un łuminoxo, da cui el nome de scarica łuminoxa.
El mecanismo de pułisia del plasma el se basa soratuto suła "ativasion" de particełe ative nel plasma pa cavar łe mace deła superfisie. In termini de mecanismo de reasion, ła pułisia del plasma ła ga de sołito el seguente proceso: i gas inorganici i vien ecitai in un stato de plasma; łe sostanse gasoxe łe vien adsorbìe suła superfisie sòłida; i grupi adsorbii i reagise co łe mołecołe suła superfisie sòłida pa formar mołecołe de prodoto; łe mołecołe del prodoto łe se descompone inte ła faxe gasosa; e i residui de reasion i vien cavài dała superfisie.

Ła carateristica pi inportante deła tecnołogia de pułisia al plasma ła xe che ła pol tratar qualsiasi tipo de substrato, conprexi metałi, semicondutori, òssidi e ła major parte dei materiałi połimerici come el polipropilene, el poliestere, ła poliimide, el cloruro de polivinile, l’epossidica e anca el politetrafluoroetilene. El pol netàr sia tuta ła superfisie che aree specifiche, e anca struture conplese.